因为空气轴承要求精度高,按一般加工方法很难达到装配条件,实际应用中,更多的是以空气轴承功能组件的形式出现。除了用气浮垫组合导轨合工作台外,其他情况,主机厂家购买零件组装并不多见。
北京牧风科技设计生产的空气轴承功能组件承载强、刚度高、不易堵塞,按照空气轴承特点巧妙设计,结构最简单、精度最理想。北京牧风科技有限公司推出二维(可加旋转或摆动)或三维空气轴承工作台(可加旋转或摆动),驱动可选装国内外各厂家的直线电机、音圈电机,压电陶瓷(抓挠进给装置),也可以用伺服电机配合丝杠驱动;运动反馈可使用光栅尺、激光干涉仪、以及各种编码器。主要应用于:
1)半导体生产行业,如光刻机、高精度的激光切割设备、激光打孔设备和普通打孔设备、固晶机、PCB钻机、打靶机。
2)高精度测量行业,如集成电路的测量等、某些光学元件的测量、LCD、LED检测、纳米测量。
3)超硬材料的加工及其他高精度、高速度加工和测量。