现在真空发生器很普及,一个很小的气动元件,很简单地利用压力空气实现真空负压。使得真空气垫应用起来更加方便。 举一个最简单的一个应用:气浮表座。拥有一个00或000极的一个花岗岩平台、有压力气 源,将表或零件放在真空气垫上,气垫放在平台上,立刻可以进行在高精度(如μm、亚μm极 )测量,而高精度的花岗岩平台根本不会磨损而降低精度。相对达到的精度,整个装备花费是 非常少的。
现在真空发生器很普及,一个很小的气动元件,很简单地利用压力空气实现真空负压。使得真空气垫应用起来更加方便。 举一个最简单的一个应用:气浮表座。拥有一个00或000极的一个花岗岩平台、有压力气 源,将表或零件放在真空气垫上,气垫放在平台上,立刻可以进行在高精度(如μm、亚μm极 )测量,而高精度的花岗岩平台根本不会磨损而降低精度。相对达到的精度,整个装备花费是 非常少的。