大规模集成电路生产设备光刻机_空气轴承、气浮垫、气浮导轨制造专家

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大规模集成电路生产设备光刻机

时间:2007-01-18 21:21来源:http://www.umhu.com 作者:北京牧风科技

　　清华大学承担了国家863火炬项目：大规模集成电路生产设备光刻机。光刻机最重要的部分之一是超高精度的三维导轨。我公司为此项目研制生产超高精度的气悬浮三维导轨。

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