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精效成功交付超高精度气浮系统项目2025-05-21


热烈祝贺精效悬浮(苏州)科技有限公司顺利完成某国际知名半导体企业气浮轴组件项目交付!


面对半导体行业严苛的精度要求,我司以X轴直线度0.1μm、Y轴直线度0.21μm、A轴跳动0.47μm的卓越性能,超越客户需求3-10倍,再次彰显精效的硬核实力!



项目背景·挑战与使命

在半导体制造领域,设备的运动精度直接决定芯片良率与工艺极限。客户要求气浮轴组件在垂直运动时,方形轴前后左右偏移量需严格控制在1μm以内(相当于头发丝的1/70),这对材料、工艺、装配及检测全链路提出了近乎极限的挑战。


技术突破·精度跃升

精效通过优化制造工艺与精密检测体系,在气浮轴组件项目中实现关键指标突破:

指标

客户要求精度 μm

我司达到精度 μm

X轴直线度

<1

0.1

Y轴直线度

<1

0.21

A轴跳动

<1

0.47


气浮轴测试数据(1).png 


客户价值·精准交付

本次交付以可量化优势为客户提供高附加值:

Ø 超预期精度储备:实测数据预留2-10倍安全冗余,保障设备长期可靠性;

Ø 误差率显著降低:组件综合偏移量较客户要求减少50%-90%;

Ø 交付效率提升:产品100%通过客户验收标准,实现零返工交付。


精效承诺·智领未来

从“达标”到“超越”,从“制造”到“智造”,精效践行“精度即竞争力”的核心价值观。我们深谙:


每一微米的突破,都是对产业升级的坚实托举;

 

每一份交付的承诺,皆源于对极致工艺的永恒追求。

 

未来,我们将持续深耕超精密运动控制领域,为半导体、光学检测、生物医疗等行业提供更智能、更可靠、更极致的解决方案,与全球伙伴共绘高端装备新蓝图!

 



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