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牧风成功完成光刻机项目重要部件2012-04-06

近日,牧风科技成功交付与国内某著名高校合作开发的光刻机部件产品。

接到项目任务伊始,牧风迅速组织科研力量进行设计研讨、工艺路线评审等基础准备工作。很短的时间内便完成了承片台空气轴承的设计、生产。通过与需求单位的共同总装调试,设备总体精度(1μm)满足性能指标要求。

本套光刻机的成功交付,证明了牧风科技的实力。同时,增强了牧风科技在精加工/超精加工、空气轴承及其解决方案等相关领域大踏步昂首向前的信心。

光刻机气浮承片台




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