转台采用超精密气浮技术和高精度机电控集成技术，可提供稳定的高速回转运动以及  优异的回转精度，并兼有在轴向和径向高负载高刚度的特点。如果您有空气轴承和气浮转台方面的需求，请联系我们400-616-8996。

气浮转台的优点

• 高速度 ( 0-30000rpm可定制 )

• 高精确度 ( 旋转精度<100nm ) 

• 大承载 ( 0 --16000kg）

• 工作台多种选择 Φ20 - Φ2000 

• 无摩擦力，无磨损 

• 低噪音，无污染

• 超长寿命，易维护 

• 接受非标定制

  
  

应用领域 

半导体设备减薄机转台 

航空发动机装配测试台 

航天转动惯量测量平台 

精密仪器轴承：圆度仪等

规格与性能表（以 8 寸晶圆转台为例）

气浮转台尺寸规格图

气浮转台应用案例