气浮电主轴的优点 

多极永磁同步电机，稳定性好

高精度，回转精度0.1μm 

小孔节流与多孔介质 

刚度高，动态精度高 

动平衡优于G0.4（ISO1940）

承载力大，减少接触的危险 

半永久寿命，免维护，无磨损 

可直接选用或根据需求定制

应用领域 

半导体晶圆减薄设备 

高精度磨床主轴

规格与性能表

8寸气浮电主轴尺寸规格图                  8寸气浮电主轴电机性能图

12寸气浮电主轴尺寸规格图                      12寸气浮电主轴电机性能图