对于一些精密运动和测量设备而言，需要二维、三维或者更多维度的高精度的运动和控制，精度需要达到微米或者纳米级精度。在这种情况下，气浮平台无疑是极佳的选择。

高精度气浮平台的优点

• 小孔节流与多孔介质，耗气量小，可供用户多种选择 

• 高精度，直线度可到达0.5μm/m

• 高刚度，加速性能好，动态响应快

• 无摩擦，适用于高精度定位、扫描、计量

• 可选无驱动或者直线电机驱动

• 尺寸可定制，满足各种工况

• 行程按需定制，负载按需定制

高精度气浮平台的规格与性能表

应用领域

半导体加工设备 电子加工设备 激光加工设备 精密机床设备