半导体制造行业对精度、速度以及洁净度要求非常高。由于空气轴承具有洁净度好、重复性好、速度高、刚度大、零摩擦、零振动与低噪音等特点，所以非常适合用于半导体制造领域。一般空气轴承可以用在晶圆切割、晶片检测、晶片修复、减薄、刻蚀等诸多领域。