气浮导轨的优点 

• 小孔节流与多孔介质

• 无接触、长寿命，运行稳定、噪音极小、高刚度、大承载

• 半永久寿命，免维护，无磨损

• 安装简单，易于调整

• 可直接选用或根据需求定制 刚度高，承载大

• 非接触的空气轴承替代常规的滚珠丝杠

• 气浮导轨可设计成“矩形，T形，U形”等多种形状

• 接受定制

规格与性能表

* 精度可达：0.5μm/m；

* 请按照规定压力供气，供气压力0.5-0.7MPa；

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1，无油 IS08573-1 级别1，干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。

各类导轨性能比较

应用领域 

半导体领域  精密加工领域  测量仪器设备