超精密气浮平台特点

● 特性  Specification

小孔节流与多孔介质，耗气量小，可供用户多种选择高精度，

直线度可到达0.5um/m

高刚度，加速性能好，动态响应快

无摩擦，适用于高精度定位、扫描、计量                                                   

可选无驱动或者直线电机驱动

尺寸可定制，满足各种工况

行程按需定制，负载按需定制

纳米精度：分辨率1nm， 重复精度50nm，  定位精度100nm

超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直驱电机，速度波动优于0.01%

高动态性：3G加速度（空载时），高响应，无摩擦静音运行，静若处子动如脱兔

  ● 应用   Application

半导体晶圆缺陷检测  光学检测  AOI检测  激光直写  平板显示器制造 

半导体加工设备  电子加工设备  激光加工设备  精密机床设备

 ● 技术参数 Technical parameter - 支持定制